硅部件級單晶爐

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首頁

產品

晶體加工設備

單晶硅（Si）長晶爐

FT-CZ1400Si

硅部件級單晶爐

拉晶過程全程自動化

在惰性氣體環境中，用石墨加熱器將硅材料熔化，

用直拉法生長無位錯單晶的設備。

性能優勢

大直徑設計結構：匹配大直徑單晶硅棒生長所需空間。

可采用連續加料裝置。

采用超低碳不銹鋼材料，結構穩定。

12英寸硅部件級單晶爐
型號			FT-CZ1400Si
場所		周圍溫度	15~30℃
		周圍濕度	≤65%（無結露，腐蝕氣體）
		潔凈度	一般環境水平
		噪音	≤75db
		地基	3000kg/㎡以上
電源	額定電壓		3P 380VAC±10% 50/60Hz
	額定電容		350kVA（主副合算）
	額定流量		530A（主副合算）
冷卻水	流量范圍		350~400L/min
	供給壓力		0.3~0.5MPa
重量	設備高度		＜8800mm △
	設備重量		約15T

△ 項數據視上爐筒高度而定，本設備數據不含磁場。

全國熱線

021-36162928

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